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이름
오일권
학력
박사
전공
지능형반도체공학전공(과)
정보
연구실 :
원천관 309호

연구실번호 :
2360

이메일 :
ikoh@ajou.ac.kr

연구관심분야 :
반도체 소자 및 공정

홈페이지1 :
https://sdpl.ajou.ac.kr/
학력
졸업연도/학교/학위
2016.08 연세대학교 박사
특허 및 기타
  • [특허] 오일권, 디스프로슘이 도핑된 하프늄 옥사이드 박막 및 이의 제조 방법 (출원) (10-2023-0170871) (Nov, 2023)
  • [특허] 오일권, 원병준, 이민정, 원자층 증착을 이용한 절연막 형성 방법 (출원) (10-2023-0079932) (Jun, 2023)
  • [특허] 오일권, 캐패시터 및 캐패시터의 제조 방법 (출원) (10-2023-0018930) (Feb, 2023)
  • [특허] 오일권, 반도체 박막용 열처리 장치의 램프의 특성 평가 방법 (출원) (10-2023-0006338) (Jan, 2023)
  • [특허] 오일권, VHF를 이용한 PE-ALD 장치 및 방법 (출원) (18/090,242) (R0420US) (Dec, 2022)
  • [특허] 오일권, 3차원 구조를 갖는 멤리스터 소자 및 그 제조방법 (출원) (10-2022-0172772) (Dec, 2022)
  • [특허] 오일권, 원자 분포 조절을 통한 극초박막의 결정성 제어 (출원) (10-2022-0164227) (Nov, 2022)
  • [특허] 오일권, 선택적 증착을 통한 멤리스터 소자 제조방법 및 그에 따라서 제조된 멤리스터 소자 (출원) (10-2022-0000262) (Jan, 2022)
  • [특허] 오일권, VHF를 이용한 PE-ALD 장치 및 방법 (출원) (10-2021-0189551) (Dec, 2021)
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